תקציר
Based on a simulated fab, we first show that forecasting the steady state cycle time of process segments is possible based on certain segment characteristics. We then show that the cycle time predictability is highly dependent on the choice of the segmentation, with the more efficient segmentation corresponding to the product layers.
| שפה מקורית | אנגלית |
|---|---|
| מספר המאמר | 6607229 |
| עמודים (מ-עד) | 613-618 |
| מספר עמודים | 6 |
| כתב עת | IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing |
| כרך | 26 |
| מספר גיליון | 4 |
| מזהי עצם דיגיטלי (DOIs) | |
| סטטוס פרסום | פורסם - 2013 |
טביעת אצבע
להלן מוצגים תחומי המחקר של הפרסום 'On improving the predictability of cycle time in an NVM fab by correct segmentation of the process'. יחד הם יוצרים טביעת אצבע ייחודית.פורמט ציטוט ביבליוגרפי
- APA
- Author
- BIBTEX
- Harvard
- Standard
- RIS
- Vancouver