דילוג לניווט ראשי דילוג לחיפוש דילוג לתוכן הראשי

On improving the predictability of cycle time in an NVM fab by correct segmentation of the process

פרסום מחקרי: פרסום בכתב עתמאמרביקורת עמיתים

11 ציטוטים ‏(Scopus)

תקציר

Based on a simulated fab, we first show that forecasting the steady state cycle time of process segments is possible based on certain segment characteristics. We then show that the cycle time predictability is highly dependent on the choice of the segmentation, with the more efficient segmentation corresponding to the product layers.

שפה מקוריתאנגלית
מספר המאמר6607229
עמודים (מ-עד)613-618
מספר עמודים6
כתב עתIEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
כרך26
מספר גיליון4
מזהי עצם דיגיטלי (DOIs)
סטטוס פרסוםפורסם - 2013

טביעת אצבע

להלן מוצגים תחומי המחקר של הפרסום 'On improving the predictability of cycle time in an NVM fab by correct segmentation of the process'. יחד הם יוצרים טביעת אצבע ייחודית.

פורמט ציטוט ביבליוגרפי