תקציר
Based on a simulated Non Volatile Memory fab, we employ data-mining to identify and quantify the apparent causes of work in process bubbles along the process. The chosen bubble formalization methods proved able to detect the phenomenon and enabled its occurrence frequency to be forecasted. In the chosen environment, bubbles seem to be highly correlated with the utilization patterns of the process segment considered.
| שפה מקורית | אנגלית |
|---|---|
| מספר המאמר | 5357373 |
| עמודים (מ-עד) | 13-20 |
| מספר עמודים | 8 |
| כתב עת | IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing |
| כרך | 23 |
| מספר גיליון | 1 |
| מזהי עצם דיגיטלי (DOIs) | |
| סטטוס פרסום | פורסם - פבר׳ 2010 |
| פורסם באופן חיצוני | כן |
טביעת אצבע
להלן מוצגים תחומי המחקר של הפרסום 'Hunting down the bubble makers in fabs'. יחד הם יוצרים טביעת אצבע ייחודית.פורמט ציטוט ביבליוגרפי
- APA
- Author
- BIBTEX
- Harvard
- Standard
- RIS
- Vancouver