Hunting down the bubble makers in fabs

M. Hassoun, G. Rabinowitz

פרסום מחקרי: פרסום בכתב עתמאמרביקורת עמיתים

6 ציטוטים ‏(Scopus)

תקציר

Based on a simulated Non Volatile Memory fab, we employ data-mining to identify and quantify the apparent causes of work in process bubbles along the process. The chosen bubble formalization methods proved able to detect the phenomenon and enabled its occurrence frequency to be forecasted. In the chosen environment, bubbles seem to be highly correlated with the utilization patterns of the process segment considered.

שפה מקוריתאנגלית
מספר המאמר5357373
עמודים (מ-עד)13-20
מספר עמודים8
כתב עתIEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
כרך23
מספר גיליון1
מזהי עצם דיגיטלי (DOIs)
סטטוס פרסוםפורסם - פבר׳ 2010
פורסם באופן חיצוניכן

טביעת אצבע

להלן מוצגים תחומי המחקר של הפרסום 'Hunting down the bubble makers in fabs'. יחד הם יוצרים טביעת אצבע ייחודית.

פורמט ציטוט ביבליוגרפי