Acceleration factors and mechanistic study of progressive breakdown in small area ultra-thin gate oxides

J. S. Suehle, B. Zhu, Y. Che, J. B. Bernstein

פרסום מחקרי: פרסום בכתב עתמאמר מכנסביקורת עמיתים

17 ציטוטים ‏(Scopus)

טביעת אצבע

להלן מוצגים תחומי המחקר של הפרסום 'Acceleration factors and mechanistic study of progressive breakdown in small area ultra-thin gate oxides'. יחד הם יוצרים טביעת אצבע ייחודית.

Keyphrases

Engineering

Material Science