ملخص
Based on a simulated fab, we first show that forecasting the steady state cycle time of process segments is possible based on certain segment characteristics. We then show that the cycle time predictability is highly dependent on the choice of the segmentation, with the more efficient segmentation corresponding to the product layers.
| اللغة الأصلية | الإنجليزيّة |
|---|---|
| رقم المقال | 6607229 |
| الصفحات (من إلى) | 613-618 |
| عدد الصفحات | 6 |
| دورية | IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing |
| مستوى الصوت | 26 |
| رقم الإصدار | 4 |
| المعرِّفات الرقمية للأشياء | |
| حالة النشر | نُشِر - 2013 |
بصمة
أدرس بدقة موضوعات البحث “On improving the predictability of cycle time in an NVM fab by correct segmentation of the process'. فهما يشكلان معًا بصمة فريدة.قم بذكر هذا
- APA
- Author
- BIBTEX
- Harvard
- Standard
- RIS
- Vancouver