ملخص
Based on a simulated Non Volatile Memory fab, we employ data-mining to identify and quantify the apparent causes of work in process bubbles along the process. The chosen bubble formalization methods proved able to detect the phenomenon and enabled its occurrence frequency to be forecasted. In the chosen environment, bubbles seem to be highly correlated with the utilization patterns of the process segment considered.
| اللغة الأصلية | الإنجليزيّة |
|---|---|
| رقم المقال | 5357373 |
| الصفحات (من إلى) | 13-20 |
| عدد الصفحات | 8 |
| دورية | IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing |
| مستوى الصوت | 23 |
| رقم الإصدار | 1 |
| المعرِّفات الرقمية للأشياء | |
| حالة النشر | نُشِر - فبراير 2010 |
| منشور خارجيًا | نعم |
بصمة
أدرس بدقة موضوعات البحث “Hunting down the bubble makers in fabs'. فهما يشكلان معًا بصمة فريدة.قم بذكر هذا
- APA
- Author
- BIBTEX
- Harvard
- Standard
- RIS
- Vancouver