Hunting down the bubble makers in fabs

M. Hassoun, G. Rabinowitz

نتاج البحث: نشر في مجلةمقالةمراجعة النظراء

6 اقتباسات (Scopus)

ملخص

Based on a simulated Non Volatile Memory fab, we employ data-mining to identify and quantify the apparent causes of work in process bubbles along the process. The chosen bubble formalization methods proved able to detect the phenomenon and enabled its occurrence frequency to be forecasted. In the chosen environment, bubbles seem to be highly correlated with the utilization patterns of the process segment considered.

اللغة الأصليةالإنجليزيّة
رقم المقال5357373
الصفحات (من إلى)13-20
عدد الصفحات8
دوريةIEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
مستوى الصوت23
رقم الإصدار1
المعرِّفات الرقمية للأشياء
حالة النشرنُشِر - فبراير 2010
منشور خارجيًانعم

بصمة

أدرس بدقة موضوعات البحث “Hunting down the bubble makers in fabs'. فهما يشكلان معًا بصمة فريدة.

قم بذكر هذا