Acceleration factors and mechanistic study of progressive breakdown in small area ultra-thin gate oxides

J. S. Suehle, B. Zhu, Y. Che, J. B. Bernstein

نتاج البحث: نشر في مجلةمقالة من مؤنمرمراجعة النظراء

17 اقتباسات (Scopus)

بصمة

أدرس بدقة موضوعات البحث “Acceleration factors and mechanistic study of progressive breakdown in small area ultra-thin gate oxides'. فهما يشكلان معًا بصمة فريدة.

Keyphrases

Engineering

Material Science